真空燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉變等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。 真空燒結爐也具有潤滑劑燒除、預燒結及高溫燒結的功能。潤滑劑含量多的壓坯可先在一般爐中燒除，然后再在真空爐內燒結。
真空燒結爐內部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結區(qū)。加熱形式有電熱元件（如碳管、碳棒）加熱、中頻感應加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻，可向爐內通入氫、氮、氬等氣體。
真空燒結爐使用的注意事項
(1)當使用氫氣或分解氨時，要先通入氮氣，在確保爐中的空氣*被排出時，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。
(2)對鉬絲作加熱元件的燒結爐，在通電前爐體中應通入保護氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。
(3)爐門及氣體排出口應點明火燒除，以防止氧氣進入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。
(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時應停留一段時間（30min左右）再升溫，以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。
(5)在升溫前和操作中應不時檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。
(6)停爐前應先斷電，在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。
(7)除了因維修必須停爐外，要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開停，會造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內氣氛不純，爐溫容易波動等弊端。
