SPS壓力燒結(jié)爐，全稱(chēng)為放電等離子燒結(jié)爐（Spark Plasma Sintering Furnace），是一種先進(jìn)的材料制備技術(shù)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、材料科學(xué)、航空航天等領(lǐng)域。是利用脈沖電流通過(guò)粉末顆粒時(shí)產(chǎn)生的放電等離子體，實(shí)現(xiàn)材料的快速燒結(jié)。當(dāng)脈沖電流通過(guò)粉末顆粒時(shí)，顆粒之間的氣隙會(huì)發(fā)生電火花放電，產(chǎn)生高溫等離子體。這些等離子體中的活性粒子具有高的能量，能夠促進(jìn)粉末顆粒表面的氧化膜分解，提高粉末表面的活性，并促進(jìn)顆粒間的接觸和粘結(jié)。在放電等離子體的高溫作用下，粉末顆粒表面迅速升溫，達(dá)到燒結(jié)溫度，進(jìn)而在外部壓力的作用下形成緊密的燒結(jié)體。
SPS壓力燒結(jié)爐在每次實(shí)驗(yàn)后的維護(hù)：
1、腔體清潔
實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，待爐體冷卻至安全溫度（通常<100°C），打開(kāi)爐門(mén)。
使用無(wú)塵布和無(wú)水乙醇仔細(xì)擦拭上下壓頭表面、模具內(nèi)壁、石墨墊塊及腔體內(nèi)壁，清除殘留的樣品碎屑、碳化物或?yàn)R射物。
檢查并清理電極與壓頭接觸面，確保導(dǎo)電良好。
2、模具與壓頭檢查
檢查石墨模具是否有裂紋、變形或嚴(yán)重磨損。如有損壞，應(yīng)及時(shí)更換。
檢查上下壓頭端面是否平整、無(wú)劃痕。輕微氧化可用細(xì)砂紙（如600#以上）輕輕打磨去除。
3、真空系統(tǒng)初步檢查
觀察真空計(jì)讀數(shù)，確認(rèn)停機(jī)后真空度能維持（無(wú)明顯漏氣）。
傾聽(tīng)機(jī)械泵運(yùn)行聲音是否正常，有無(wú)異常噪音。
4、氣體管路
如果使用了保護(hù)氣氛（如Ar），關(guān)閉氣瓶閥門(mén)。
檢查管路接頭有無(wú)松動(dòng)。
5、控制系統(tǒng)
正確退出操作軟件，關(guān)閉計(jì)算機(jī)和控制柜電源。
記錄本次實(shí)驗(yàn)參數(shù)和設(shè)備狀態(tài)。
